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NIST トレーサブル キズ-ブツ標準板

NIST Traceable Scratch Dig Standards

NIST Traceable Scratch Dig Standards


  • ISO 10110-7 / ISO 14997 のガイドラインに沿って光学素子の表面品質を定量化

 光学素子のキズ (Scratch)やブツ (Dig)の大きさを定量化するのに最適な見本です。キズとブツの見本以外にも、60mm長のスケールや6種類の異なる大きさを持つ格子パターン、また6種類の異なる空間周波数を持つブロックで構成されます (基板一枚当たり)。格子パターンは、不均一な形状を持った欠陥部のエリアを測定するのに用います。欠陥対象エリアの平方根が、そのエリアに対応するグレードNo.になります。本製品は、2種類の基板 (基板1と基板2)のセット品になります。基板1は0.004~0.040までのグレードNo.で構成されます。対する基板2は0.040~0.400の構成です。また本製品には、ご用途に合わせて第一面セットと第二面セットが選べます。第一面セットは、各パターンが基板の表面側 (第一面側)にあります。これに対し第二面セットは、基板の裏面側 (第二面側)にあります。更に第一面セットには、ポジパターンとネガパターンの2種類が選べます。ポジパターンは、透明基板上に不透明パターンを蒸着したもの、対するネガパターンは、ポジパターンを反転したものです。

補足: NIST トレーサブル認定証付き。

標準板の特徴

  • ロンキー・ルーリングパターンは、計測システムがテスト下のパターンを解像できることを確認するのに用います
  • 格子パターンは、観察エリア内にある大きなサイズ、或いは不均一な形状を持った欠陥部のクラス分けを行うのを助けます
  • 精密な直尺スケール (公差は±0.002mm)は、キズの全長の測定に利用します
  • 黒アルマイト仕上げのアルミフレームは、標準板がダメージを受けることから守り、ハンドリングを容易にします

共通データ

Plate 1
Grade No. Circ. Diameter (μm) Dim. of Scratch (μm) Freq. Block (lp/mm) Grid Block Line W (μm) Grid Block Line Spacing (μm)
0.004 4.5 1 x 16 500 1 4.5
0.006 7 1.6 x 25 312.5 1.6 7
0.010 11 2.5 x 40 200 2.5 11
0.016 18 4 x 63 125 4 18
0.025 28 6.3 x 100 80 6.3 28
0.040 45 10 x 160 50 10 45
Plate 2
Grade No. Circ. Diameter (μm) Dim. of Scratch (μm) Freq. Block (lp/mm) Grid Block Line W (μm) Grid Block Line Spacing (μm)
0.040 45 10 x 160 50 10 45
0.060 70 16 x 225 31.25 10 70
0.100 110 25 x 400 20 10 110
0.160 180 40 x 630 12.5 10 180
0.250 280 63 x 1000 8 10 280
0.400 450 100 x 1600 5 10 450

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