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Acktar 黒色エアスリット

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Acktar Blackened Air Slits (mounted)

Acktar Blackened Air Slits (mounted) Acktar Blackened Air Slits (unmounted)
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  • 広帯域低反射コーティング
  • EUVからSWIRまで99%の吸収率
  • スリットサイズは最小25um x 3mmまで
  • アンマウントとマウントバージョンをラインナップ


Acktar 黒色エアスリットは、光源からの後方反射が懸念となる開口アプリケーションに最適です。本エアスリットは、ステンレス鋼基板に極めて黒いAcktar社のMagic Black™コーティングを施し、極端紫外 (EUV) から短波赤外 (SWIR) までの波長で低反射率を実現します。この広帯域コーティングは、380℃までの温度に安定的で、使用中に粒子が発生することはありません。 Acktar 黒色エアスリットは、スリット端面部を含む両面にコーティングが施されており、アンマウントバージョンの他に、機械的安定性を向上させたマウントバージョンをラインナップします。

補足: 特注のスリットサイズはお問い合わせ下さい。

 
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