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MRF技術


  QED社製のMRF 加工機で微細な仕上げを実現

  高精度な平面, 球面レンズ, 非球面レンズを生産

  λ/20 以下の面精度

  高度な三次元測定機でサポート

概要

粘弾性磁性流体研磨による仕上げ加工 (MRF) は、干渉法で正確に文書化されたサブアパーチャーツールを用いる決定的な加工プロセスです。制御化と予見化されたプロセスの元で材料を選択的に除去することで、波形誤差を補正します。MRFのコンピュータ制御された決定論的プロセスは、微細な光学面に仕上げるために必要となる職人技の多くのステップを取り除くことができます。対象の光学面形状データは、高度な三次元測定の計測機器群からMRF加工ベースのソフトウェアに直接送られます。世界最先端の計測システムからMRFベースの研磨ルーチンへと転送される一貫した信頼性の高いデータは、平面、球面あるいは非球面に真の驚異的な結果を生み出します。MRF技術を用いることで、勘に頼る作業や長い反復加工作業、そして精密光学面に関連する高価な人件費を不要にすることができます。

対応力

  • 高精度な球面と平面光学部品: λ/20 P-V
  • 円形, 矩形, 及び変則的な形状の開口面
  • プリズムの角度公差を秒レベルで補正
  • 非球面: 非球面の研削と予備研磨工程後にMRF法で最終補正
  • 透過波面誤差の補正: 片面や薄い窓板上の加工で系全体を補正
  • 一般的な光学ガラス
  • 高アスペクト比の光学部品

加工対象ワークの条件

  • 直径範囲: 10mm - 200mm
  • 最大自重: ~7kg
  • 曲率半径:
    1. 凹面の曲率半径: >35mm
    2. 凸面: お問い合わせください*
*MRF技術を用いた研磨加工は、計測可能な曲率半径までになります。対象加工面が計測可能かを判断するため、一度お問い合わせください。

製造設備

  • QED社製 MRF 微細加工機

計測設備

MRF加工機は、λ/20以下の高精度な平面、球面、非球面を作り出すことができます。軸回転対象体を加工ツールが軸中心に渦巻状に移動しながら研磨していくらせんスキャンの他、長方形や多角形面のような非軸回転対象体を同ツールがラスタ状に移動・研磨していく平行スキャンにも対応します。平行スキャンの場合、加工面の面精度だけでなく、角度補正も行えるため、プリズムの仕上げ加工に最適です。また光学系全体での透過波面誤差を補正するため、MRF法により特定光学面を意図的に粗い面精度にするといった応用も考えられます。この場合、光学面の性能や性質を理解し、独自の光学補正ソフトウェアを駆使することにより達成可能になります。

MRF

関連資料 | 粘弾性磁性流体研磨仕上げ加工の歴史

Daniel C. Harris, "History of magnetorheological finishing," Proc. SPIE 8016, Window and Dome Technologies and Materials XII, 80160N (20 May 2011); doi: 10.1117/12.882557; https://doi.org/10.1117/12.882557

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