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248nmから>40µmまでに対応する自社内量産用コーティング
定評あるパートナー企業と連携して13.5nmから4.1nmまでの選択的なUV領域に対応
反射防止, 高反射, フィルター, 偏光, ビームスプリッター, および金属膜の設計
高いレーザー損傷閾値 (LDT) と超短パルスレーザー用コーティング
高硬度でキズや腐食に耐性をもつダイヤモンドライク・カーボン・コーティング
エドモンド・オプティクスは、自社内のコーティング施設で、数十種類の標準反射防止 (AR) とミラー用金属膜コーティング、さらには広範な特注光学コーティングを生産します。当社の標準コーティングオプションがお客様のアプリケーションに機能しない場合は、お客様に従事して特注コーティングを設計いたします。
薄膜コーティング (反射防止, 高反射, ビームスプリッター, フィルター, レーザー) |
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| 電子ビーム (Eビーム) | イオンアシスト付きEビーム | 先進プラズマ源 (APS) | バイアス電圧による ラジカルアシストスパッタリング (RAS-Bias) |
イオンビームスパッタリング (IBS) | ミラー用金属膜 | ダイヤモンド・ライク・カーボン (DLC) | |||||
| お客様のシステムが必要とする反射、透過、あるいは特定の遮断を実現するため、特注の薄膜コーティング設計を用意することができます。 | 波長範囲: |  |
157nm - 12µm | 190nm - >20µm | 250nm - >20µm | 320nm - 3500nm | 266nm - 3500nm | 250nm - 20µm | 2µm - 15µm | ||
| 真空紫外: | |||||||||||
| 紫外: | |||||||||||
| 可視: | |||||||||||
| 近赤外: | |||||||||||
| 赤外: | |||||||||||
| 基板材料: | すべてのガラスとレーザー結晶 | すべてのガラスとレーザー結晶 | すべてのガラス | ガラスウェハー | すべてのガラス | すべてのガラスと金属 | IR 材料 | ||||
| 最大寸法: | 400mm | 400mm | 150mm | 150mm | 75mm | 150mm | 400mm | ||||
| コーティング材料: | フッ化物 | フッ化物, 酸化物 | フッ化物, 酸化物 | 酸化物 | 酸化物 | Al, Ag, Au | ナノコンポジット・カーボン | ||||
| バッチコスト: | ￥ | ￥￥ | ￥￥￥ | ￥￥￥￥ | ￥￥￥￥ | ￥ | ￥￥￥ | ||||
| チャンバーサイズ: | ⁃ | ||||||||||
| 単価 (バッチ最適化): | ￥ | ￥ | ￥￥ | ￥￥ | ￥￥￥￥ | ￥ | ￥￥ | ||||
| 可能なコーティングの複雑性: | ♦ | ♦♦ | ♦♦♦ | ♦♦♦♦ | ♦♦♦♦♦ | ♦ | ♦ | ||||
| 密度: |
低 |
中~高 | 高 | 非常に高 | 非常に高 | 中~高 | 非常に高 | ||||
| 散乱: | ✷ | ✶ | ✭ | ✦ | · | ✭ | ✷ | ||||
| 耐久性: | 良 | 非常に良 | 非常に高 | 非常に高 | 非常に高 | 良~非常に高 | 非常に高 | ||||
| 反射防止 (AR) | 狭帯域での反射率スペック (R<%): 0.25% 0.25 | 0.25% | 0.25% | 0.20% | 0.20% | 0.05% | |||||
| 広帯域での反射率スペック (R<%): | 0.50% | 0.50% | 0.40% | 0.40% | 0.25% | ||||||
| ミラー / 高反射 (HR) | 狭帯域での反射率スペック (R>%): | >99.8% | >99.8% | >99.8% | >99.8% | >99.999% | |||||
| 広帯域での反射率スペック (R>%): | >99% | >99% | >99% | >99% | >99.9% | >99% | |||||
| ビームスプリッター | Ts - Tp (広帯域、無偏光): | <8% | <6% | <6% | |||||||
| Ts - Tp (レーザーライン、無偏光): | <3% | <2% | <2% | ||||||||
| R/T 分割比公差 (無偏光): | +/-10% | +/-5% | +/-5% | ||||||||
| 消光比 (偏光): | 500:1 | >1000:1 | >1000:1 | ||||||||
| 光学フィルター | 光学フィルターのODブロッキング値: | OD3 | OD4+ | OD6+ | |||||||
| 最小バンド幅: | 25nm | 10nm | <5nm | ||||||||
| 転移幅 (最大OD~50%T): | CWLの5% | CWLの3% | CWLの1% | ||||||||
| レーザーコーティング* 1064nmに対するデータ例。ご要望に応じて、他の材料や波長での値にも対応可能。 |
LIDT (J/cm2) - 1064nmでのナノ秒: | 20 - 100 | 20 - 100 | 20 - 100 | 2 - 5 | ||||||
| LIDT (J/cm2) - 1064nmでの超短パルス: | 0.5 - 5 | 0.5 - 5 | 0.5 - 5 | 0.2 - 2 | |||||||
| 吸収 (ppm): | 10 | <10 | <5 | ||||||||
*記載されているLIDT値はすべて典型的な範囲であり、達成可能な最高性能を示すものではありません。実際の結果は、材料、設計、および試験の仕様によって変わります。LIDTは、波長とパルス時間にも比例します。特定の材料、波長、およびパルス時間に対する典型値は、ご依頼いただけます。当社のすべてのレーザーコーティングは、社内および/あるいは第三者機関によって検証されます。
特注コーティングの設計は、今すぐお問い合わせください！
エドモンド・オプティクスは、米国、日本、およびシンガポールに最先端の光学コーティング設備を備えており、次のような対応力を備えています：
エドモンド・オプティクスは、当社の標準と特注光学コーティングから最高の性能を得るため、一連の試験を行います。以下のコーティング計測機器を備えています：
