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ニコン干渉用無限補正対物レンズ

Nikon Interferometry Objectives

Nikon Interferometry Objectives


  • 微分干渉顕微鏡用対物レンズ
  • 非接触な三次元画像を形成
  • マイケルソン干渉系用とミロー干渉系用

 干渉用対物レンズは、非接触な光学三次元計測を実現する微分干渉顕微鏡に用いられます。被検試料表面の構造的特徴を、光の波長以下の精度で非常に高精密に調べることができます。光学系の中にビームスプリッターが組み込まれており、一部の照明の光はこの素子を透過して被検試料に直射し、残りの照明の光はこの素子で反射して、光学系に同じく組み込まれている参照用ミラーにリレーします。被検試料にから反射して戻ってきた光と、参照用ミラーから反射して戻った光とが再び重なり、干渉縞のパターンを形成します。マイケルソン干渉系用のEpi Plan TIレンズは、比較的長作動で広い実視野と長めの焦点深度を持っているのに対し、ミロー干渉系用のEpi Plan DIレンズは、より高倍率、或いはより高NAを要求するアプリケーションに用いられます。F=200mmの結像レンズ用にデザイン (異なる焦点距離の結像レンズを用いた場合は、光学倍率が異なる大きさになりますのでご注意ください)。顕微鏡本体との接続には、RMS (M20.32 x 0.706)のねじ山を採用しています (但し2.5Xと5XモデルのみM27 x 0.75)。

CF結像レンズ(#58-520): CFシリーズ対物レンズ専用にデザインされたF=200mmの結像レンズです。対物レンズからの平行光を集光し、所定の位置に像を結ぶ役目を持ちます。最適な光学的性能を得る目的のため、対物レンズのねじ込み当たり面から結像レンズまでの距離は、100~200mm内に限定してご使用ください。

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