ニコン干渉用無限補正対物レンズ

干渉用対物レンズは、非接触な光学三次元計測を実現する微分干渉顕微鏡に用いられます。被検試料表面の構造的特徴を、光の波長以下の精度で非常に高精密に調べることができます。光学系の中にビームスプリッターが組み込まれており、一部の照明の光はこの素子を透過して被検試料に直射し、残りの照明の光はこの素子で反射して、光学系に同じく組み込まれている参照用ミラーにリレーします。被検試料にから反射して戻ってきた光と、参照用ミラーから反射して戻った光とが再び重なり、干渉縞のパターンを形成します。マイケルソン干渉系用のEpi Plan TIレンズは、比較的長作動で広い実視野と長めの被写界深度を持っているのに対し、ミロー干渉系用のEpi Plan DIレンズは、より高倍率、或いはより高NAを要求するアプリケーションに用いられます。ニコン 200mm 結像レンズ (#58-520) を使用することで、本対物レンズをCマウントカメラに実装することも可能です。