6 Degrees of Freedom Fine Positioning Stage

製品群全体の紹介

• 凹と凸のシリンダーレンズの表面形状誤差を測定
• 多様なシリンドリカルFナンバーをラインナップ
• 取り付けと位置合わせが容易

Arizona Optical Metrology (AOM) シリンダー 計算機合成ホログラム (CGH) は、干渉計の機能を拡張して、シリンドリカル形状の光学部品の検査を高速、全開口かつ高分解能の表面形状誤差計測で行います。シリンダーCGHのFナンバーの完成された品揃えで、凸面や凹面の一連のシリンドリカル光学面のテストを可能にし、計測ラボで必要なテストプレートや干渉計用参照面の数を削減します。AOM 2インチ (50.8mm) シリンダー CGHは、干渉計へのCGHの正確なアライメントに必要となる6自由度ステージにキネマティックに固定されたメカニカルフレーム内に設置されています。Arizona Optical Metrology (AOM) シリンダー 計算機合成ホログラム (CGH) は、業界標準の4インチ (101.6mm) 口径で、参照用の透過面フラット付きで、632.8nmのHe-Neレーザー波長の干渉計との使用に最適化されています。各シリンドリカルヌルCGHには、テストされた性能スペックを明記した品質認定書が付きます。

補足： このCGHは、6自由度微動ポジショニングステージ (#25-684) あるいはZ軸付きの6自由度微動ポジショニングステージ (#25-685) のいずれかの使用が必要になります。CGHセルは、高速かつ再現性の高い位置取りに向けて、ステージに磁力でキネマティックに接続されます。

AOM シリンダー 計算機合成ホログラム (CGH) は、シリンドリカル形状のオプティクスの干渉測定を可能にします。凸と凹のシリンドリカルオプティクスの表面形状誤差は、CGHを用いて全開口にわたって測定することができます。シリンドリカル面の曲率半径は、半径対応の干渉計ベンチを用いて測定することもできます。 

AOM 標準シリンダー CGHは、シリンドリカルヌルパターン、レトロアライメントパターン、反射防止コート付き裏面の合成石英基板に、AOM FP3 アライメント用ステージに接続するための1/4インチ (6.35mm) ステンレス製固定用ボールが付いたメカニカルセルを付属します。 

シリンダー CGHは、コリメートした干渉計の波面を収束するシリンダー波面に変換する回折光学素子です。凹と凸のシリンダー光学部品は、同じCGHを用いて共焦点ヌルテストで測定することができます。凸面のシリンダー光学部品は収束する波面内に、また凹面のシリンダー光学部品は発散する波面内に配置する必要があります。