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高性能REFLX™反射型対物レンズ

High Performance ReflX™ Objectives

High Performance ReflX™ Objectives


  • 回折限界性能: λ/14 (RMS) の透過波面精度
  • 鏡筒先端部に、使い勝手に優れた45°テーパー形状加工を採用
  • 副鏡の設置は、光の回折効果を緩和するために曲線状固定治具を採用
  • 業界屈指の24~31mmの作動距離

高性能Reflx™は、本来のReflx™対物レンズのデザインに、λ/4(P-V)の透過波面精度とテーパー形状のメカニカルハウジングを追加装備して組み立てられます。テーパー形状のメカニカルデザインは、外部照明使用時に、レンズの光軸に対して45°入射で被写体を照らすことができます。像を二度の反射で伝達するReflx™の場合、二度の反射でλ/4(P-V)の透過波面精度を実現するためには、ミラーの光学面をより正確に作る必要があります。エドモンド・オプティクスが所有する精密製造設備であるQED (米国)社製のQ22-MRF加工機とSSI サブアパーチャー・スティッチング干渉計により、このミラーの研磨とテストを行い、λ/20(P-V)以上の基板面精度に仕上げています。

対物レンズは、f=200mmの結像レンズとの使用に向けた無限系デザインを採用します。広波長帯域のイメージングアプリケーションには、ミツトヨ MT-L 結像レンズ (#56-073) の使用を推奨します。無限系デザインは、フィルターやビームスプリッターといったパーツを光路中に入れることが可能なため、本対物レンズをバイオ技術や蛍光アプリケーションにも最適にします。一点集光アプリケーションの場合は、入射ビームが対物レンズ所定の入射瞳径を満たすように入れてください。どちらの場合においても、光の一部の伝搬が構造上遮断されるため、ビーム中心部分におけるエネルギーが少なくなる強度分布を形成します。

反射型対物レンズを使う多くのアプリケーションでは、同レンズを45°までの入射角度で設置することが求められます。こうした急角度設置に対応するため、高性能Reflx™は、物体から面まで6mm以上のクリアランスが持てるテーパー形状デザインを採用しています。またストレートレッグタイプのスパイダーマウントで引き起こされる像面での回折効果を取り除くため、高性能Reflx™はカーブレッグタイプの同マウントを用いています。内部鏡筒側の全ての面に迷光対策も取られています。どの対物レンズも米国で製造し、組み立て、試験、また当社のZygo社製GPI-XP 干渉計を用いて認証しています。どのレンズも認定証付きです。

レーザーコーティングや異なる焦点距離の結像レンズ向けを始めとする特注バージョンは、当社のアプリケーションエンジニアにお問い合わせください。

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