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CALIBALL™干渉計用キャリブレーションデバイス


  • 透過球面波のキャリブレーション用に
  • 1.3nm (RMS)の面仕上げ
  • キネマティックマウントとコンプライアンス認定証付き

 CaliBall™は、干渉計から得られる球面波をランダムボールテスト法 (RBT)によって校正するために用いられます。ランダムボールテストは、過去に一定の成果を上げましたが、ボールを作る材料が原因で計測精度に限界がありました。CaliBall™は、窒化珪素からボールを作ることにより、精度の対するジレンマを解消しました。直径25mmのボールは、Grade 5の真球度 (125nm以下)を有します。面仕上げは1.3nm (RMS)。不透明で、11%の表面反射率を有します。実質的に壊れることのないCaliBall™は、キャリブレーションの繰り返し使用において、実用的なソリューションです。何年使用しても、性能の劣化が生じません。

 CaliBall™は、3個の球状キネマティックマウントを持つ丈夫なステンレス製ベースと一緒に供給されます。ベース部の片側は部分カットされており、f/0.7の球面波でもキャリブレーションすることができます。ボールの丸さと面仕上げを認証した認定証、取扱説明書、及びクリーンルーム対応の保管ケース付属です。

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