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ピエゾポジショニングステージ


  • 高精密ピエゾステージ
  • スティックスリップ・デザイン
  • 超微動制御

 ピエゾポジショニングステージは、ピエゾモーターを利用し、微細な位置決めが求められるアプリケーションにおいてサブミクロン分解能の移動を実現します。ピエゾポジショニングステージは、スティックスリップ・デザインの採用により、ピエゾ素子が持つ性能をフルに活用し、移動精度や全体移動量を犠牲にすることなくステージを移動軸に沿って動かします。また再現性を維持するためのエンコーダーも中に組み込まれています。リニアポジショニングステージは、51mmを超える総移動量を最大2mm/秒で動かすことが可能です。荷重を予めかけたスチール製ボールベアリング2個を利用する回転ステージは、無制限の移動範囲で6°/秒を超える回転移動と、高い発生力があります。

補足:本製品を駆動する際は、コントローラー (#88-552)を併せてお求めください。

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