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スターターゲットアレイ


  • フィールドポイント毎の収差の確認に
  • 透過型デザイン

 スターターゲットアレイは、ビジョンシステムで得られた画像のフィールドポイント毎に、その焦点エラーや非点収差を識別する目的でデザインされました。スターターゲットを基板の中央、コーナー、そして対角に沿って配置することにより、それまで識別するのが容易ではなかった問題のあるエリアの場所の正確な把握やその広さが決定できます。基板の寸法別に2種類をラインナップ。スターターゲット中心部の白黒パターンがないエリアの大きさは、50 x 50mmサイズが0.1mm、一方の101 x 101mmサイズが0.15mmになります。

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