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ZABER™ 真空対応電動直進ステージ


  • 他の真空対応デバイスとデイジーチェーン接続し、真空チャンバー内で使用可能
  • ビルト・イン・コントローラー搭載により、実装時間を最小化
  • 10-3 Torrの真空度に対応

 Zaber™ 真空対応電動直進ステージは、真空チャンバー内で操作するアプリケーションに対するコンパクトなソリューションです。Zaber™ 真空対応電動直進ステージは、NASAのTMLやCVCM要件に対応し、低アウトガス用にデザインされています。この直進移動ステージは、他の真空対応デバイスとデイジーチェーン接続して、真空チャンバー内での使用が可能です。一つのポートから最大254台までがサポートされるため、結線を単純化してシステムへのアクセスを容易にすることができます。加えて本ステージは、XYZ軸構成で組み立てることもでき、特殊なデバイス包装内に用いることもできます。

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