355nm, 2.5mm Input, 3D Tophat Shaper

• 広い軸範囲にわたって安定したフラットトップスポット
• スモールスポット微細加工に向け低サイドローブで高効率化
• 安定した産業用加工に向けて被写界深度を考慮したトップハット (フラットトップ) ビーム整形
• 微細構造ミラーベースの連続的な反射DOE (回折光学素子)
• CWから超短パルスまでの産業用レーザーシステム用にデザイン

Midel Photonics 3D トップハットビームシェイパーは、焦点面にだけでなく、拡張した被写界深度 (Eextended DOF; EDOF) にわたり安定したフラットトップ (トップハット) 強度分布を生成します。ピントやアライメントの小さな変化にとても敏感な従来のビーム整形ソリューションとは異なり、この被写界深度を拡張した工学的アプローチは、使用可能な加工ウインドウを増やし、実際の生産現場での堅牢性を改善します。そのオール反射デザインにより、コンパクトなシステムレイアウトを可能にし、ハイパワーレーザーをサポートし、要求の厳しい産業用アプリケーションに向けて信頼性の高いビーム整形パフォーマンスを提供します。Midel Photonics 3D トップハットビームシェイパーは、2.5mm, 5mm, 8mmの入射ビーム径と複数の波長オプションでラインナップし、85%以上の効率とレイリー長の±60%のEDOFを有します。本ビームシェーパーは、レーザー精密マーキング、レーザーリフトオフ、精密穴あけ加工、ウェハーダイシング、表面微細構造化など、精密かつ再現性の高いエネルギー分布を必要とするアプリケーションに最適です。

従来のトップハットソリューションは、主に焦点面でビーム整形します。しかしながら、生産現場においては、被写界深度にわたる加工の安定性が重要になります。3D トップハットビームシェイパーは、定義された軸範囲にわたってトップハットを維持するようにデザインされており、現実的なシステム条件下で使用可能な作動範囲を広げます。核となるのは、誘電体膜の高反射率コーティングを施した微細構造ミラーとなる、連続的な反射DOE (回折光学素子) です。その結果、高効率でサイドローブを最小限に抑えた均一なフラットトップスポットになります。