Accessory Kit for Zaber Vacuum Stages

• 低真空 (10^-3 Torr) と高真空 (10^-6 Torr) 対応オプションをラインナップ
• 360° 回転、リニア、垂直移動、およびゴニオメーターオプション
• 最小限のケーブル接続で制御

Zaber™ 真空対応電動ステージは、真空システム内への実装用にデザインされており、10^-6 Torrの高真空対応ステージか10^-3 Torrの低真空対応でラインナップします。ステージ本体の構成部品は、真空チャンバー内のコンタミのアウトガス発生を制限するために特別に作られており、内蔵のステップモーターは高真空環境内で熱管理が行えるようにデザインされているため、本ステージは、最小限のケーブル接続で端末インターフェースに接続することができます。Zaber™ 真空対応電動ステージは、リニア、360° 回転、およびゴニオメーターのステージ構成でラインナップし、真空中で完全な6自由度システムの構築を可能にします。本ステージは、半導体の製造や加工、あるいは光学コーティングプロセスなど、高真空条件下で動作するアプリケーションに最適です。

補足： ご使用の際は、別売りのアクセサリーキット #75-301 が必要になります。