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UFI EUV アト秒多層膜平面ミラー 25.4mm

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UltraFast Innovations (UFI) EUV/XUV アト秒多層膜ミラー

UltraFast Innovations (UFI) EUV/XUV アト秒多層膜ミラー

UltraFast Innovations (UFI) EUV/XUV アト秒多層膜ミラー
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商品コード #16-765 5-7営業日
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直径 (mm):
25.40 ±0.13
平面度 (P-V):
λ/10
基板: Many glass manufacturers offer the same material characteristics under different trade names. Learn More
Fused Silica (Corning 7980)
基板裏面側:
Commercial Polish
コーティングスペック:
Rs > 38% @ 65eV/19nm
コーティング:
EUV Multilayer (19nm)
入射角 (°):
5
有効径 (%):
80
設計波長 DWL (nm):
19
端面:
Fine Ground
平行度 (分):
<1
基板面粗さ (Å):
<1
タイプ:
Flat Mirror
中心エネルギー (eV):
65 ±2
バンド幅 (eV):
6
サポートするパルス時間:
330 attoseconds
コバ厚 ET (mm):
6.35 ±0.20
反射率 (@設計波長) (%):
>38

法規制対応状況

RoHS 2015/863:
適合証明書:
Reach 235:

製品群全体の紹介

  • 330 アト秒パルス @ 65eV (19nm) 用にデザイン
  • ピーク反射率38%の多層膜コーティング
  • ≤1Å (オングストローム) の表面粗さのスーパーポリッシュ基板
  • 13.5nmでデザインされた EUV 平面ミラー EUV 球面ミラー もラインナップ
  • 在庫品でラインナップ
  • 最低発注数量やコーティングのロットチャージなし

UltraFast Innovations (UFI) 極端紫外 (EUV/EUV) アト秒多層膜ミラーは、アト秒パルスのステアリングや集光、および整形用にデザインされています。その多層膜コーティングは、65eV (19nm) を中心にして6eV (1.8nm) のバンド幅を持ち、s偏光の光に対して38%のピーク反射率が得られます。本ミラーは、330 アト秒の持続時間を持つEUVパルスに対応します。UFI 極端紫外 (EUV/EUV) アト秒多層膜ミラーは、高次高調波発生 (HHG) や自由電子レーザー (FEL)、もしくはその他の量子光学アプリケーションをベースにしたアト秒パルスの生成や整形に理想的です。 

原子レベルの精密なイオンビーム蒸着により、原子レベルの平滑なコーティング層を形成します。このミラーは、成長するアプリケーション領域において波長とスペクトル位相の精密な制御を高効率で可能にします。アト秒科学は、超短パルスレーザーの限界を押し広げ、電子の運動のような最も本質的な科学プロセスの一部にアクセスします。EUVミラーは、XUV/軟X線ミラーとも呼ばれます。EUV アト秒多層膜ミラーの物理的原理は、多層膜スタックの各境界面から反射・散乱したEUV放射の干渉です。25.4mm径の平面ミラーと凹面ミラーをラインナップ。特注の中心エネルギー、バンド幅、もしくはその他の仕様のEUV多層膜ミラーがアプリケーション上必要となる場合は、お問い合わせください。

 
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