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極端紫外 (EUV) 用平面ミラー 25.4mm 45° AOI

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

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商品コード #38-760
- +
¥304,800
数量 1+
¥304,800
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直径 (mm):
25.40 ±0.25
基板: Many glass manufacturers offer the same material characteristics under different trade names. Learn More
Single Crystal Silicon
コーティングスペック:
R >65% @ 13.5nm
コーティング:
Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
コーティングタイプ:
Metal/Semiconductor
設計入射角 (°):
45
基板面粗さ (Å):
<3 RMS
厚さ (mm):
6.35 ±0.508
厚み公差 (mm):
0.508
タイプ:
Flat Mirror
波長域 (nm):
12.92 - 13.90
平面度 (P-V):
λ/10 @ 632.8nm
半値全幅 FWHM (nm):
0.50

環境規制対応状況

RoHS 2011/65:

製品群全体の紹介

  • 13.5nmで最大の反射率を達成
  • 極端紫外のビームステアリングや高調波分離用にデザイン
  • 入射角5°と45°をラインナップ

極端紫外 (EUV) 用平面ミラーは、設計波長や設計入射角で最大限の反射率が達成できるようにデザインされた多層膜ミラーです。このミラーは、3Å RMS未満の面粗さを持つスーパーポリッシュした単結晶シリコン基板にコーティング蒸着を施しています。入射角45°のミラーは、s偏光のビームステアリング用に、対する入射角5°のミラーは、非偏光との使用に有益です。EUVミラーのアプリケーションに、コヒーレント回折イメージング (CDI) や材料科学があります。極端紫外 (EUV) 用平面ミラーは、高調波発生 (HHG) ビームの高調波セレクターとしても機能することができます。

補足: ミラーの各製造ロットのサンプルテストデータ付きです。

その他の資料

その他の資料

対応するマウント

タイトル  タイプ 比較する 商品コード  製品価格 購入
TS コンパクトレンズマウント 25/25.4mm M4 Fixed #13-787 ¥2,250
数量 5+ ¥2,150 見積依頼する
  • 在庫あり
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TS コンパクトレンズマウント 25/25.4mm U8 Fixed #13-788 ¥2,250
数量 5+ ¥2,150 見積依頼する
  • 3~5営業日
    ×
TS コンパクトミラーマウント 25.4mm M4 Fixed #13-590 ¥2,300
数量 5+ ¥2,200 見積依頼する
  • 在庫あり
    ×
TS コンパクトミラーマウント 25.4mm U8 Fixed #13-591 ¥2,300
数量 5+ ¥2,200 見積依頼する
  • 3~5営業日
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レンズホルダー M6/U1/4 25.4mm (T1=10mm) Fixed #64-561 ¥3,600
数量 1+ ¥3,600 見積依頼する
  • 在庫あり
    ×
レンズホルダー M6/U1/4 25.4mm (T1=13mm) Fixed #64-562 ¥3,800
数量 10+ ¥0 見積依頼する
  • 3~5営業日
    ×
Eシリーズ キネマティックマウント 25/25.4mm Adjustable - Tip-Tilt #15-866 ¥4,500
数量 10+ ¥4,250 見積依頼する
  • 3~5営業日
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クイックスタートマウント - 25.4mm コンパクトレンズマウント M4 Fixed #17-536 ¥6,700 見積依頼する
クイックスタートマウント - 25.4mm コンパクトレンズマウント #8 Fixed #17-537 ¥6,700 見積依頼する
クイックスタートマウント - 25.4mm コンパクトミラーマウント M4 Fixed #17-534 ¥6,750 見積依頼する
クイックスタートマウント - 25.4mm コンパクトミラーマウント #8 Fixed #17-535 ¥6,750 見積依頼する
調節レンズホルダー U1/4 53mm Fixed #03-668 ¥7,150
数量 10+ ¥6,300 見積依頼する
  • 在庫あり
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TS 小型ダイレクトマウント 25.4mm L字スロットタイプ Fixed #36-410 ¥7,600 見積依頼する
  • 3~5営業日
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TS 小型ダイレクトマウント 25.4mm サイドフランジタイプ Fixed #36-414 ¥7,600 見積依頼する
  • 3~5営業日
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調節レンズホルダー U1/4 95mm Fixed #36-605 ¥8,900
数量 10+ ¥7,900 見積依頼する
  • 3~5営業日
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クイックスタートマウント - 25.4mm Eシリーズ キネマティックマウント Adjustable - Tip-Tilt #17-521 ¥8,950 見積依頼する
TS キネマティックマウント 2点ねじ φ25/25.4mm Adjustable - Tip-Tilt #58-851 ¥10,450
数量 5+ ¥9,400 見積依頼する
  • 在庫あり
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バータイプレンズホルダー M6 10-60mm Fixed #55-530 ¥10,500
数量 1+ ¥10,500 見積依頼する
  • 在庫あり
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TS 小型ダイレクトマウント 25.4mm L字スロット 回転機構付き Adjustable - Rotary #36-411 ¥10,950 見積依頼する
  • 3~5営業日
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クイックスタートマウント - 25.4mm レンズホルダー Fixed #17-515 ¥11,050 見積依頼する
TS キネマティックマウント 3点ねじ φ25/25.4mm Adjustable - Tip-Tilt #58-854 ¥11,450
数量 5+ ¥10,300 見積依頼する
  • 在庫あり
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バータイプレンズホルダー U1/4 7-40mm Fixed #03-676 ¥11,450
数量 10+ ¥10,300 見積依頼する
  • 在庫あり
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調節レンズホルダー U1/4 137mm Fixed #03-670 ¥12,200
数量 10+ ¥10,800 見積依頼する
  • 3~5営業日
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バータイプレンズホルダー U1/4 7-67mm Fixed #03-669 ¥12,450
数量 10+ ¥11,200 見積依頼する
  • 3~5営業日
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バータイプレンズホルダー U1/4 8-118mm Fixed #03-666 ¥12,850
数量 10+ ¥11,600 見積依頼する
  • 在庫あり
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光学セルアッセンブリ U1/4 25.4mm (1") Fixed #36-461 ¥13,500
数量 10+ ¥11,950 見積依頼する
  • 3~5営業日
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クイックスタートマウント - 25.4mm キネマティックマウント 3点ネジ Adjustable - Tip-Tilt #17-523 ¥15,900 見積依頼する
クイックスタートマウント - 50.8mm バータイプレンズホルダー Fixed #17-530 ¥17,200 見積依頼する
芯出し同軸レンズホルダー 4-36mm Fixed #16-077 ¥17,300
数量 5+ ¥15,250 見積依頼する
  • 3~5営業日
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上操作型キネマティックマウント M6 25.4mm スクリュー Adjustable - Tip-Tilt #55-003 ¥29,700
数量 5+ ¥0 見積依頼する
  • 3~5営業日
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芯出しレンズホルダー M6 2軸 25-25.4mm Adjustable - Linear (XY) #62-956 ¥31,150
数量 1+ ¥31,150 見積依頼する
  • 在庫あり
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上操作型キネマティックマウント M6 25.4mm マイクロメータ Adjustable - Tip-Tilt #55-456 ¥33,000
数量 5+ ¥0 見積依頼する
  • 3~5営業日
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芯出しレンズホルダー M6 3軸 25-25.4mm Adjustable - Linear (XYZ) #62-959 ¥35,200
数量 1+ ¥35,200 見積依頼する
  • 在庫あり
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クイックスタートマウント - 25.0/25.4mm X-Y芯出シレンズホルダー Adjustable - Linear (XY) #17-513 ¥36,000 見積依頼する
クイックスタートマウント - 25/25.4mm 上操作型キネマティックマウント Adjustable - Tip-Tilt #17-519 ¥38,500 見積依頼する
芯出し同軸レンズホルダー 5-100mm Fixed #16-078 ¥45,250
数量 5+ ¥39,900 見積依頼する
  • 3~5営業日
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芯出しレンズホルダー M6 5軸 25.4mm Adjustable - Linear (XYZ) & Tip-Tilt #13-776 ¥55,000
数量 1+ ¥55,000 見積依頼する
  • 在庫あり
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