測量

最先端の計測機器

• Zygo^®製 VeriFire™ 高解像干渉計干渉計は、小さな転移や屈折率変化、および面形状の不規則性を計測するのに用いられる装置です。1つの光源から出射された光を2つの光に分け、その光が再び合流 (合波) する前までは別々の光路を辿ります。合流した際に、2つの光路間の光路長差の情報を表す干渉縞を形成します。これは、光学部品の面精度の計測によく用いられます。
• QED製 ASI 非球面スティッチング式干渉計干渉計は、小さな転移や屈折率変化、および面形状の不規則性を計測するのに用いられる装置です。1つの光源から出射された光を2つの光に分け、その光が再び合流 (合波) する前までは別々の光路を辿ります。合流した際に、2つの光路間の光路長差の情報を表す干渉縞を形成します。これは、光学部品の面精度の計測によく用いられます。
• フジノン製 光学 干渉計干渉計は、小さな転移や屈折率変化、および面形状の不規則性を計測するのに用いられる装置です。1つの光源から出射された光を2つの光に分け、その光が再び合流 (合波) する前までは別々の光路を辿ります。合流した際に、2つの光路間の光路長差の情報を表す干渉縞を形成します。これは、光学部品の面精度の計測によく用いられます。
• Xonox製 光学干渉計干渉計は、小さな転移や屈折率変化、および面形状の不規則性を計測するのに用いられる装置です。1つの光源から出射された光を2つの光に分け、その光が再び合流 (合波) する前までは別々の光路を辿ります。合流した際に、2つの光路間の光路長差の情報を表す干渉縞を形成します。これは、光学部品の面精度の計測によく用いられます。
• TRIOPTICS製 OptiCentric^® 偏芯測定機偏芯測定機は、レンズの機械軸と光軸間の不一致を計測するのに用いられます。
• Zeiss製 Contura G2 三次元測定器三次元測定器は、光学部品の物理的寸法を計測するのに用いられる装置です。コンピュータ制御にも、またマニュアル操作にも対応します。
• タリサーフ PGI 1240 プロファイロメータープロファイロメーターは、光学部品の面地形を測定するのに用いる装置です。面の曲率や平面度およびイレギュラリティといった情報を提供します。
• Zygo^®製 NewView™ 光学表面プロファイラー
• OptiPro製 Ultrasurf 4X 100 非接触三次元測定機
• OGP製 スマートスコープ
• Nikon製 オートコリメーターオートコリメーターは、角度を非接触で測定する光学装置です。プリズムの角度精度の測定にも頻繁に用いられます。
• DigiMicro マイクロスコープ顕微鏡は、光学部品の表面品質 (外観) を調べるのに用いられます。
• オリンパス製 MX51 光学顕微鏡 顕微鏡は、光学部品の表面品質 (外観) を調べるのに用いられます。
• Park Systems XE-100 原子間力顕微鏡 (AFM) 原子間力顕微鏡 (AFM) は、非常に小さく鋭いカンチレバーで試料表面をなぞることで、原子分解能でサンプルの表面トポグラフィを測定します。面の3D構造は、面粗さを定量化するのに用いられます。
• シャックハルトマン波面センサー (SHWFS)シャックハルトマン波面センサー (SHWFS) は、マイクロレンズアレイを用いて、光学部品の透過または反射波面誤差を計測したり、光学システムを高ダイナミックレンジかつ高精度で測定します。
• キャビティリングダウン分光法 (CRDS)キャビティリングダウン分光法 (CRDS) は、2枚の高反射ミラーで構成された共振キャビティ内にレーザーパルスを送り、その減衰を測定することで、反射光学部品と透過光学部品の両方に対して高感度損失測定を行います。

Zygo^®製 VeriFire™ 高解像干渉計