HOLO/OR 回折型ビームシェイパー

HOLO/OR 回折型ビームシェイパーは、ほぼガウシアン分布のレーザービームを、レンズの焦点上で均一強度分布の規定2D形状に変換する回折光学素子 (DOE) です。この回折型ビームシェイパーは、トップハットと安定型トップハットの2種類をラインナップします。トップハットビームシェイパーは、安定型トップハットビームシェイパーに比べて転送領域 (拡がり角) は大きくなりますが、デフォーカス動作は良好になります。HOLO/OR 回折型ビームシェイパーは、レーザー切断やスクライビング、アブレーションを始めとする材料加工アプリケーション、およびウェハー検査やリソグラフィーなどの照明アプリケーションに用いられます。

補足： 回折光学素子は、設計波長外での使用を想定していません。回折光学素子の表面が皮脂や他の物質で汚染されると性能が低下します。こうした光学部品を取り扱う際は、グローブや指サックを常時ご使用ください。

エドモンド・オプティクスは、レーザーアプリケーション向けに、HOLO/OR社製の一連の回折光学素子を提供しています：

• 回折型ディフューザー : 入射レーザービームを均一分布の規定形状に変換するために使用
• 回折型ビームスプリッター : 入射レーザービームを1次元配列または2次元マトリクス状に分割するために使用
• 回折型ビームシェイパー : ほぼガウシアンのレーザービームを均一なフラットトップ強度分布を持つ規定形状に変換するために使用
• 回折型ビームサンプラー : 入射レーザービームを透過しながら2本の高次ビームを生成し、高出力レーザーをモニタリングするのに使用
• 回折型アキシコン : 入射レーザービームをリング状に一点集光できるベッセルビームに変換するために使用
• 回折型Vortexフェイズプレート : ガウシアン分布のビームをドーナツ状のエネルギーリングに変換するために使用