分割型フォトダイオード

分割型フォトダイオードは、高度の安定性と高速応答性を要する広範なアプリケーション用にデザインされています。0.1μmより高い位置分解能を有する分割型フォトダイオードは、表面形状特定、位置測定、アライメント、或いはターゲティング用に最適です。分割型フォトダイオードは、受光面を2つか4つのエリアに分割しており、350~1100nmに感応波長帯があります。分割した各領域が、一つの検出器として様々な測定プロファイルを持つことを可能にします。