eo_logo
  • 国/地域をご選択ください。
  • こんにちは、 マイアカウント
  • cart   
 
全 2 製品の紹介された製品群ページに移動する

10-25nm, 50.8mm Dia, EUV/IR Dichroic Filter

Extreme Ultraviolet (EUV) Dichroic Filters

Extreme Ultraviolet (EUV) Dichroic Filters

×
商品コード #18-279 New
×
- +
¥838,200
数量 1+
¥838,200
数量 2+
¥762,000
大口価格
見積依頼する
Get Product Downloads

仕様

直径 (mm):
50.80
設計入射角 (°):
78
基板: Many glass manufacturers offer the same material characteristics under different trade names. Learn More
Fused Silica (Corning 7980)
コーティング:
Dielectric Multilayer AR
反射率 (%):
>35
表面品質 (キズ-ブツ):
20-10
厚さ (mm):
5.08 ±0.1
タイプ:
Dichroic Filter
平行度 (分):
<5
寸法公差 (mm):
+0.0/-0.2
波長域 (nm):
10 - 25
形状誤差 (RMS):
<λ/10 @ 633nm

環境規制対応状況

RoHS 2011/65:

製品紹介

製品群全体の紹介

  • 高次高調波生成でNIR レーザー光源からEUVを分離
  • 高損傷閾値用にデザイン
  • 10 – 40nm までのアプリケーションに対応
  • 在庫品でラインナップ
  • 最低発注数量やコーティングのロットチャージなし

極端紫外 (EUV) 用ダイクロイックフィルターは、ビームセパレーターとも呼ばれ、高次高調波生成用にEUVとNIR波長間で高い分離効率を提供します。合成石英基板を採用する本フィルターは、ブリュースター角ビームセパレーターやEUVフィルターよりも高いレーザーパワーに対応します。EUV用ダイクロイックフィルターは、10nmから40nmまでの広いバンド幅領域を有します。高次高調波生成に加え、本フィルターは、EUVリソグラフィー、EUVナノマシニング、コヒーレント回折イメージング、超短パルス アト秒パルス生成といったEUVアプリケーションを支えるシステムにも用いることができます。

 
販売や技術サポート
 
もしくは 現地オフィス一覧をご覧ください
簡単便利な
クイック見積りツール
商品コードを入力して開始しましょう
×