ミツトヨ 無限補正対物レンズ M-PLAN NIR 20X

製品群全体の紹介

• 無限補正光学系
• 明視野観察とYAGレーザー加工を両立するデザイン
• 長作動設計
• プラン対物レンズにより、像面がフラット

従来の顕微鏡用対物レンズ (有限系)とは全く異なるデザインアプローチにより、寸法的小型化を妥協する代わりに、抜群の光学的性能と長作動距離が得られるようにデザインされました。長作動距離のため、従来の対物レンズでは難しかった段差のある被写体にもピント合わせが可能です。どのレンズも同焦距離は95mm (共通)で、顕微鏡本体との接続用にM26 x 0.706 (36TPI)のねじ山が施されています。

M PLAN NIR, NUV & UVシリーズは、観察とYAGレーザーを用いたレーザー加工用途の両方を目的としてデザインされています。UVシリーズはYAG 4倍波レーザー (266nm)を使用した時、NUVシリーズはYAG 2倍波と3倍波レーザー (532nm, 355nm)を使用した時、NIRシリーズはYAG基本波と2倍波レーザー (1064nm, 532nm)を使用した時に、半導体回路のカッティングやトリミングが可能です。観察用の可視域と上述のレーザー波長におけるピントが、個々のレンズの焦点深度内で一致するようにデザインされています。YAGレーザー使用時の破損しきい値 (代表値)は、1064nm使用時で0.2J/cm² (@10nsパルス)、或いは0.5kW/cm² (@CW)、532nm使用時で0.1J/cm² (@10nsパルス)、或いは0.25kW/cm² (@CW)です。また355nm使用時で0.05J/cm² (@10nsパルス)、或いは0.16kW/cm² (@CW)になります (但しUV/NUVシリーズのみ)。

一般に無限補正対物レンズは、明視野観察用途において、照明光が対物レンズの光軸と平行になる同軸落射照明用のレンズに最適です。なお本製品は有限系デザインの対物レンズとは異なり、対物レンズ単独では像を結びません。無限補正対物レンズは、通常結像レンズと呼ばれる補助レンズとペアで用いて像を結びます。この組み合わせのメリットは、使用者が顕微鏡用光学系としての機械的/光学的鏡筒長を気にせずに、ある程度自由に設計できる点にあります。なお本製品は、F=200mmの結像レンズとの使用を前提に光学倍率が設計されています。異なる焦点距離の結像レンズを用いた場合は、光学倍率が異なる大きさになりますのでご注意ください。

M Plan Apo NIRシリーズ

• 可視~近赤外アプリケーション用
• 明視野観察とYAGレーザー基本波/2倍波レーザー (1064nm/532nm)による加工を両立するデザイン
• 480~1800nmまでの波長を色補正し、焦点深度内でピントが一致するようデザイン
• レーザーマーキングや半導体回路の裁断に最適
• 可視~近赤外アプリケーション用

M Plan Apo NIR HRシリーズ

• NIRシリーズの分解能性能を35~40%改善
• 更なる高解像イメージや極小集光ビーム径を実現
• 明るさは、NIR HR 50Xが2.4倍向上、NIR HR 100Xが2倍向上
• MT-L結像レンズと互換性あり

M Plan Apo NIR Bシリーズ

• 光学性能を一新し、420~1100nmまでのクリアな観察性能を実現
• 532nm/1064nmのYAGレーザー波長で高透過率
• NIRシリーズ最長となる25.5mmの超長作動距離により、操作性を大きく改善
• MT-L結像レンズと互換性あり

M Plan Apo NUVシリーズ

• 近紫外~可視アプリケーション用
• 明視野観察とYAG 2倍波/3倍波レーザー (532nm/355nm)による加工を両立するデザイン
• 355~620nmまでの波長を色補正し、焦点深度内でピントが一致するようデザイン
• 明るさと分解能を改善したHRシリーズもラインナップ
• MT-L結像レンズと互換性あり

M Plan UVシリーズ

• 266nm (加工用)と550nm (観察用)の二波長で同焦性を持つようデザイン (二波長同焦デザイン)
• 明視野観察とYAG 2倍波/4倍波レーザー (532nm/266nm)による加工を両立するデザイン
• ミツトヨ製FS70L4マイクロスコープやMT-L4結像レンズとの併用に効果的

結像レンズアクセサリー製品

ミツトヨ製無限補正対物レンズと接続的互換性を持つ結像レンズやCマウント変換アダプターをご用意しています。対物レンズを用いた更なるシステム構成を可能にします。

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