1.1mm thick LCD cover-glass Example Application: High magnification inspection through liquid crystal glass (LCD) or cutting and trimming of semiconductor wafer and circuits
ミツトヨ M Plan NIR, NUV & UV LCD シリーズ 無限補正対物レンズは、標準のM Plan Apo & M Plan Apo SL シリーズ 対物レンズのメリットに、スペクトル領域の向上を組み合わせています。NIR 対物レンズは、480~1800nmまでで補正されており、半導体や光通信の検査、あるいは一般的なNd:YAGレーザーを用いたレーザー切断に最適にします。HR シリーズは、開口数を増やすことで、より小さなスポットサイズやより高い解像力を実現します。ミツトヨ M Plan NIR, NUV & UV LCD シリーズ 無限補正対物レンズは、一般的な液晶ディスプレイガラスの厚さで補正しています。NUV & UV シリーズの対物レンズは、532nm、355nm、266nmのNd:YAGの2倍波、3倍波、4倍波の各々で卓越した性能があります。
技術情報
Dimensions
M Plan NIR
A (mm)
B (mm)
C (mm)
W.D. (mm)
20X, T0.7
75.00
34
32.2
20.0
20X, T1.1
75.02
34
32.2
19.98
50X, T0.7
77.74
34
32.2
9.60
50X, T1.1
77.87
34
32.2
17.13
100X
82.94
34
32.2
12.06
HR 100X
85.13
39
37
9.87
M Plan NUV
A (mm)
B (mm)
C (mm)
W.D. (mm)
20X, T0.7
78
34
32.2
16.96
50X, T0.7
80
34
32.2
14.76
M Plan UV
A (mm)
B (mm)
C (mm)
W.D. (mm)
20X, T0.7
80
34
32.2
14.98
50X, T0.7
83
34
32.2
12.38
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