CALIBALL 干渉計用キャリブレーションデバイス

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仕様

概要

補足:

Surface Finish: 13nm RMS
The part is measured for RMS, which negates the defects or blemishes of the parts based on the average of the surface and the removal of outliers. Ball quality does not affect its ability to perform calibrations.

物理的および機械的特性

直径 (mm):

25.40

光学的特性

反射率 (%):

11.00

Silicone Nitride

面精度, P-V (μm):

≤0.125

法規制対応状況

適合証明書:

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商品詳細

透過球面のキャリブレーション用に
1.3nm RMS の面仕上げ
キネマティックマウントと適合証明書付き

CaliBall™は、干渉計から得られる球面波をランダムボールテスト法 (RBT) によって校正するために用いられます。ランダムボールテストは、過去に一定の成果を上げましたが、ボールを作る材料が原因で計測精度に限界がありました。CaliBall™は、窒化珪素からボールを作ることにより、精度の対するジレンマを解消しました。25mm径のボールは、Grade 5の真球度 (125nm以下) があり、1.3nm RMSの面仕上げと不透明で11%の表面反射率を有します。実質的に壊れることのないCaliBall™は、キャリブレーションの繰り返し使用において、実用的なソリューションです。何年使用しても、性能の劣化が生じません。

CaliBall™は、3個の球状キネマティックマウントを持つ丈夫なステンレス製ベースと一緒に供給されます。ベース部の片側は部分カットされており、F0.7の球面波でもキャリブレーションすることができます。4" (101.6mm) バヨネットマウント付きCaliBall™ は、水平型干渉計の構築やXYZ軸固定構成を必要としない場合により適します。どのCaliBall™にも、ボールの丸さと仕上げを表した認定証、取扱説明書 (英文)、及びクリーンルーム対応の保管ケース付属です。