TS 高性能 ReflX 反射型対物レンズ 有限 15X DUV

製品群全体の紹介

• 回折限界性能： λ/14 (RMS) の透過波面精度
• 鏡筒先端部に使い勝手に優れた45°テーパー形状加工を採用
• 副鏡の設置は光の回折効果を緩和するために曲線状固定治具を採用
• TECHSPEC® Reflx™ 対物レンズもラインナップ

高性能Reflx™は、本来のReflx™対物レンズのデザインに、λ/4(P-V)の透過波面精度とテーパー形状のメカニカルハウジングを追加装備して組み立てられます。テーパー形状のメカニカルデザインは、外部照明使用時に、レンズの光軸に対して45°入射で被写体を照らすことができます。像を二度の反射で伝達するReflx™の場合、二度の反射でλ/4(P-V)の透過波面精度を実現するためには、ミラーの光学面をより正確に作る必要があります。エドモンド・オプティクスが所有する精密製造設備であるQED (米国)社製のQ22-MRF加工機とSSI サブアパーチャー・スティッチング干渉計により、このミラーの研磨とテストを行い、λ/20(P-V)以上の基板面精度に仕上げています。

対物レンズは、f=200mmの結像レンズとの使用に向けた無限系デザインを採用します。広波長帯域のイメージングアプリケーションには、ミツトヨ MT-L 結像レンズ (#56-073) の使用を推奨します。無限系デザインは、フィルターやビームスプリッターといったパーツを光路中に入れることが可能なため、本対物レンズをバイオ技術や蛍光アプリケーションにも最適にします。一点集光アプリケーションの場合は、入射ビームが対物レンズ所定の入射瞳径を満たすように入れてください。どちらの場合においても、光の一部の伝搬が構造上遮断されるため、ビーム中心部分におけるエネルギーが少なくなる強度分布を形成します。

反射型対物レンズを使う多くのアプリケーションでは、同レンズを45°までの入射角度で設置することが求められます。こうした急角度設置に対応するため、高性能Reflx™は、物体から面まで6mm以上のクリアランスが持てるテーパー形状デザインを採用しています。またストレートレッグタイプのスパイダーマウントで引き起こされる像面での回折効果を取り除くため、高性能Reflx™はカーブレッグタイプの同マウントを用いています。内部鏡筒側の全ての面に迷光対策も取られています。どの対物レンズも米国で製造し、組み立て、試験、また当社のZygo社製GPI-XP 干渉計を用いて認証しています。どのレンズも認定証付きです。

レーザーコーティングや異なる焦点距離の結像レンズ向けを始めとする特注バージョンは、当社のアプリケーションエンジニアにお問い合わせください。