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面精度 (Surface Accuracy)

面のピーク・ツー・バレー（最大高低差）による平坦度を、波長（基準波長の整数倍または分数）で表した指標。例えば1/4 waveは、試験に用いた波長の1/4だけ平坦度が偏差していることを意味する。試験波長が550nmの場合、平坦度は140nm以内に保持され、1/4 waveの面精度となる。RMS（root mean squared）でも示され、PV値を二乗して平均し、その平方根を取って求める。

関連項目 Reference Wavelength

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