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平面度 (Surface Flatness)

ミラー、ウィンドウ、プリズム、平面レンズなどの平面表面における偏差を評価する面精度の一種。 この偏差はオプティカルフラットを用いて測定される。平面度のずれは通常、波長(λ)の倍数として表され、これは測定光の波長に基づく。 干渉縞1本は1/2波長に相当する。一般に、1λは標準グレード、λ/4は精密グレード、λ/20は高精度グレードとされる。

関連項目 Optical Flat

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