スーパーポリッシュ
研磨加工


  • 超低表面粗さで散乱を最小化

  • 1Å RMS 以下の面粗さ

  • 12.7~50.8mmまでの標準サイズと形状

  • ご要望に応じて特注サイズと形状に対応

  • 先端測量技術でサポート

  • ppm レベルの散乱

概要

エドモンド・オプティクスは、超低表面粗さを有するスーパーポリッシュ研磨加工されたオプティクスで業界を先導します。スーパーポリッシュ研磨加工のオプティクスは、散乱を最小限に抑えることから、スループットが極めて重要となるレーザーオプティクスアプリケーションに理想的です。この技術は、イオンビームスパッタリング (IBS) を利用したエドモンド・オプティクスの低損失コーティングを補完します。なぜなら、コーティング性能がガラス基板の面粗さによってたびたび制限を受けるからです。当社のコーティングと製造の専門エンジニアは、システムに応じた固有のソリューションを開発し、製品開発プロセス全体を通じてお客様をサポートすることができます。世界クラスの計測は、すべてのスーパーポリッシュ加工面がアプリケーションニーズに合致することを確実にします。何を製作しましょう?

対応力

スーパーポリッシュの対応力*
RMS 表面粗さ** <1Å
面精度 <0.1λ
平行度 (直径 < 12.7mm) <1"
平行度 (直径 < 12.7mm) <30"
表面品質 (キズ-ブツ) 10-5 (有効径全体)
直径 6 – 50.8mm
材料 合成石英
*より厳しい仕様への対応もご要望に応じて実現可能
**≤1 RMS (9~250サイクル/mm の空間周波数バンドで20X 対物レンズを用いた光学式プロファイラーで測定時)。RMS (root mean square) と P-V (peak-to-valley) の仕様は、同じ一連のデータから計算されるが、P-Vが最高値と最低値間の差を表すのに対し、RMSは一連のデータの数学的平均値を表す。

オンデマンドウェビナー(英語)

Ultra-Low Surface Roughness
Polishing & Metrology

To learn more about the fabrication and measurement of superpolished optics, view our on demand webinar.

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動画

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Metrology at Edmund Optics: Measuring as a Key Component of Manufacturing

エドモンド・オプティクスの計測:製造の主要な要素としての測定

アプリケーションノート

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レーザーオプティクスに対する測量
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表面下損傷
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光学テクノロジー最前線

技術とアプリケーションの進歩によって、未来はオプティクスに依存しています。エドモンド・オプティクスは、製品と技術のトレンドについて情報発信をすることで、その未来をサポートしていきます。

スーパーポリッシュ加工のオプティクス
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ウェビナー

オプティクスやイメージングの広範なテーマに関する、エドモンド・オプティクスの専門スタッフによる録画ウェビナーです。

Ultra-Low Surface Roughness Polishing and Metrology
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投稿記事

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Fabrication of ultralow-roughness surfaces: The Beilby layer
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White-light interferometry resolves sub-Angstrom surface roughness
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スーパーポリッシュ加工の標準品

スーパーポリッシュ加工の標準品は、在庫販売体制により、すぐに出荷できます。アプリケーションに合わせた特注オプションは、お問い合わせください

TECHSPEC

スーパーポリッシュ基板

  • 両面を1Å RMS 以下の面粗さでスーパーポリッシュ
  • UVやハイパワーレーザーアプリケーションに最適な低散乱面
  • エッジ研磨&面取りが施されたUVグレード 合成石英基板
  • 6mmから76.2mmまでの特注サイズと形状を <0.5Å未満の面粗さで社内製造可能

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Superpolished Substrates
 
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