マッハツェンダー干渉計の構築

マッハツェンダー干渉計とは？

マッハツェンダー干渉計は、平行な2本の光ビームの相対的な位相差を測定するシンプルな干渉計です。この位相差は、微小な変位、透過型オプティクスの透過波面誤差、透明材料の屈折率、風洞の空気の流れなどの測定に用いることができます。

マッハツェンダー干渉計は、レーザーなどのコヒーレント光源、2つのビームスプリッター、2つのミラーで構成されています (Figure 1およびFigure 2)。まず、光源を1つ目のビームスプリッターで2つの光路に分岐します。2つのビームはそれぞれ同じ光路長（進む距離×媒質の屈折率を）を持っています。それぞれのビームはミラーで反射し、2つ目のビームスプリッターで再結合されます。2本のビームの光路長に光源のコヒーレンス長以下の差があると、干渉縞が発生します。光源のコヒーレンス長はとても短いため、精密な部品の使用や、精密なアライメント作業がきわめて重要になります。試料は光路のいずれかに配置することで測定が可能です。干渉縞の変化を観察することで、結果的に生じる光路長差を測定することができます。

**Figure 2:** エドモンド・オプティクスの在庫販売品で構成された卓上型マッハツェンダー干渉計システム。

エドモンド・オプティクスの在庫販売品を使用したシステム

Figure 2のようなシステムは、以下のガイドに従って組み立てることができます。　

サブアッセンブリ

各光学サブアッセンブリは卓上ブレッドボードに追加し、オプティカルレールを介して光軸に沿って容易にスライドさせることができます。オプティカルレール用キャリアの上に配置された小型直動ステージは、光軸方向や直交方向の微調整を容易にします。

光学ベース

商品コード	品名	数量
#54641	アルミ製ブレッドボード U1/4 600mm x 300mm	1
#54929	マイクロオプティカルレール 500mm	2

光源

商品コード	品名	数量
#86848	Coherent StingRay LD モジュール 520nm x 5mW	1
#86878	Coherent® 1263030 \| Laser Controller with CDRH Key Lock + Power Supply	1
#18291	E-Series 19.1mm ID Adapter	1
#15866	Eシリーズキネマティックマウント 25/25.4mm	1
#72774	63.5mm Length, M6 and M6, Steel Post	1
#58973	ポストホルダー M6 76.2mm	1
#58992	ポスト用カラー	1
#16714	高荷重対応アリ溝ステージ 30 x 30mm	1
#11164	マイクロベンチキャリアミリパターン 30mm	1

アイリス絞り

商品コード	品名	数量
#53914	アイリス絞りASSY 12mm U8	2
#72784	2.5" Length, 8-32 and ¼-20, Steel Post	2
#58973	ポストホルダー M6 76.2mm	2
#58992	ポスト用カラー	2
#16714	高荷重対応アリ溝ステージ 30 x 30mm	2
#11164	マイクロベンチキャリアミリパターン 30mm	2

平凹レンズマウント

商品コード	品名	数量
#64552	レンズホルダー M6/U1/4 6mm	1
#48690	平凹レンズ 6 x -15 VIS 0°	1
#72774	63.5mm Length, M6 and M6, Steel Post	1
#58973	ポストホルダー M6 76.2mm	1
#58992	ポスト用カラー	1
#16714	高荷重対応アリ溝ステージ 30 x 30mm	1
#11164	マイクロベンチキャリアミリパターン 30mm	1

平凸レンズマウント

商品コード	品名	数量
#13787	コンパクトレンズマウント 25/25.4mm M4	1
#62573	平凸レンズ 25.4 x 76.2 VIS 0°	1
#72764	63.5mm Length, M4 and M6, Steel Post	1
#58973	ポストホルダー M6 76.2mm	1
#58992	ポスト用カラー	1
#16714	高荷重対応アリ溝ステージ 30 x 30mm	1
#11164	マイクロベンチキャリアミリパターン 30mm	1

平凸レンズのマウントサブアッセンブリ — **Figure 6:** 平凸レンズマウントのサブアッセンブリ。

投影用レンズマウント

商品コード	品名	数量
#13787	コンパクトレンズマウント 25/25.4mm M4	1
#47917	両凹レンズ 25 x -25 VIS 0°	1
#72764	63.5mm Length, M4 and M6, Steel Post	1
#58973	ポストホルダー M6 76.2mm	1
#58992	ポスト用カラー	1
#16714	高荷重対応アリ溝ステージ 30 x 30mm	1
#11164	マイクロベンチキャリアミリパターン 30mm	1

ミラー付きジンバルマウント (2セット)

商品コード	品名	数量
#54999	ジンバルマウント M6 25-25.4mm	2
#64015	λ/10 反射強化アルミコートミラー 25mm	2
#72773	50.8mm Length, M6 and M6, Steel Post	2
#58972	ポストホルダー M6 50.8mm	2
#58992	ポスト用カラー	2
#66393	クロスローラーステージ 30mmソリッドサイドミリマイクロ	2
#11164	マイクロベンチキャリアミリパターン 30mm	2

ビームスプリッター付きジンバルマウント (2セット)

商品コード	品名	数量
#54999	ジンバルマウント M6 25-25.4mm	2
#34413	λ/10 プレート型B/S 25mm 50R/50T	2
#72773	50.8mm Length, M6 and M6, Steel Post	2
#58972	ポストホルダー M6 50.8mm	2
#58992	ポスト用カラー	2
#66393	クロスローラーステージ 30mmソリッドサイドミリマイクロ	2
#11164	マイクロベンチキャリアミリパターン 30mm	2

**Figure 9:** ジンバルマウント付きビームスプリッターサブアッセンブリ。

全部品のリスト

商品コード	品名	数量
#54641	アルミ製ブレッドボード U1/4 600mm x 300mm	1
#54929	マイクロオプティカルレール 500mm	2
#11164	マイクロベンチキャリアミリパターン 30mm	10
#16714	高荷重対応アリ溝ステージ 30 x 30mm	6
#66393	クロスローラーステージ 30mmソリッドサイドミリマイクロ	4
#58972	ポストホルダー M6 50.8mm	4
#58973	ポストホルダー M6 76.2mm	6
#58992	ポスト用カラー	10
#59760	ステンレス製マウントポスト M6 63.5mm	2
#58953	ステンレス製マウントポスト M4 63.5mm	2
#59759	ステンレス製マウントポスト M6 50.8mm	4
#72784	2.5" Length, 8-32 and ¼-20, Steel Post	2
#86848	Coherent StingRay LD モジュール 520nm x 5mW	1
#86878	Coherent® 1263030 \| Laser Controller with CDRH Key Lock + Power Supply	1
#15866	Eシリーズキネマティックマウント 25/25.4mm	1
#18291	E-Series 19.1mm ID Adapter	1
#53914	アイリス絞りASSY 12mm U8	2
#64552	レンズホルダー M6/U1/4 6mm	1
#48690	平凹レンズ 6 x -15 VIS 0°	1
#13787	コンパクトレンズマウント 25/25.4mm M4	2
#62573	平凸レンズ 25.4 x 76.2 VIS 0°	1
#47917	両凹レンズ 25 x -25 VIS 0°	1
#54999	ジンバルマウント M6 25-25.4mm	4
#64015	λ/10 反射強化アルミコートミラー 25mm	2
#34413	λ/10 プレート型B/S 25mm 50R/50T	2

マッハツェンダー干渉計のアライメント

レーザー、アイリス、およびレンズは、正確に同じ光軸上に配置する必要があります。これらの部品は、オプティカルレール上を移動しても光軸が変わらないことが理想です。オプティカルレールのキャリア上にステージを設置し、レールに垂直な方向に水平移動できるようにします。

レーザーモジュールの取り付け
- レーザーモジュール（φ19.1mm）をアダプター#18291で#15866 に固定します。
- これにより、レーザーの角度を簡単に調整することができます。
- レーザービームがオプティカルレールに対して水平になるように、マウントの角度を調整します。
Figure 10: レーザーモジュールの取り付け
レーザーの光軸のアライメント
- アイリスサブアッセンブリを使用して、システムのすべての部品の光軸の中心を一定に保つことができます。
- アイリスの中心にレーザーを照射します。
- アイリスをオプティカルレールにスライドさせながらキネマティックマウントを調整し、全領域でレーザーがアイリスの中心に来るようにします。
Figure 11: レーザーの光軸のアライメント
平凸レンズの光軸のアライメント
- 焦点距離の長い平凸レンズは、レンズユニットを左右にスライドさせながら光軸を調整します。
- ポストでレンズの高さを調整し、アリ溝ステージで光軸を垂直方向に調整します。
Figure 12: 焦点距離の長い平凸レンズの光軸のアライメント。
平凹レンズの光軸のアライメント
- 焦点距離の短い平凹レンズを光路に配置します。
- レンズユニットを左右にスライドさせながら、光軸を調整します。
- ポストでレンズの高さを調整し、アリ溝ステージで光軸を垂直方向に調整します。
Figure 13: 焦点距離の短い平凹レンズの光軸のアライメント。
ビームエキスパンダーを形成するレンズの位置決め
- 2つのレンズは、焦点距離の和で分割する必要があります。この場合、その距離は76.2mm - 25mm = 51.2mmとなります。
- ビーム径を任意のサイズに拡大するためのレンズの組み合わせについては、「在庫販売品オプティクスを用いてあなた仕様のビームエキスパンダーを構築する」をご覧ください。
- 迷光を避けるためには、反射率の低いコーティングレンズを選択することが重要です。
Figure 14: 2つのレンズサブアッセンブリをアイリスの前に配置し、ビームエキスパンダーを形成する。
ミラーとビームスプリッターのアライメント
- 干渉縞を得るには、2 つの光路長を等しく (またはほぼ等しく)、更に合波後のビームが重なり合う必要があります。
- Aに1つ目のビームスプリッターを配置し、レーザーを2つに分割します。ビームを再結合させるために、もう1つのビームスプリッターをDに配置します。
- A-B-D の光路長と A-C-D の光路長が同じになるように配置してください。
- このとき、ミラー/ビームスプリッターマウントのエッジがビームを遮らないように注意する必要があります。
- Dで反射するビームとDを透過するビームが重なるようにします。
- D付近とDから遠い2点でビームが重なるように2つのミラーの位置と角度を調整してください (Figure 5)。
Figure 15: ミラーとビームスプリッターのアライメント。
干渉縞のチェック
- Dの後に拡大レンズを加えると、干渉縞を識別しやすくなります。
- 干渉縞を得るためにオプティカルレール上のステージ位置とミラーマウント角度の微調整が必要になります。
Figure 16: エドモンド・オプティクスの在庫販売品で構成されたマッハツェンダー干渉計セットアップの完成形。